半導体製造／検査システム
Semiconductor manufacturing and
inspection systems
半導体領域でも
SOFIXらしさを発揮します。
進化し続ける半導体。ソフィックスは、この分野で一役を担っています。半導体製造工程の前工程～後工程に位置づけられる装置のソフトウェア開発を行います。
前工程では、ウェハ／マスクの欠陥検査を対象とした装置において、検査した結果をレビューする所までの一貫した実績があります。
後工程では、リードやボール位置の検査を行うシステムの開発実績があります。
ウェハ／マスク欠陥検査／
レビューアプリケーション
ウェハは、シリコンの単結晶インゴットを切断して作られる円形状の板で半導体のもとになるものです。
マスクは透明なプレートの上に特定の回路パターンを描いた、型のようなものになります。
ウェハを研磨▷フォトレジストを塗布▷マスクから回路パターンを転写、と製造工程は進みますが、ウェハ／マスクに傷や汚れなどの欠陥が存在すると正常な半導体を作ることができません。
ソフィックスでは、このウェハ／マスク欠陥検査／レビューを行うアプリケーションを、お客様のご要望に合わせて開発します。
検査した結果をどのようにレビューしたいかは、お客様によって様々です。ユーザビリティを考慮した画面設計や動作仕様など、お客様のご要望に耳を傾け付加価値のあるご提案をします。
検査対象物のアライメント、搬送制御や自動検査などの開発実績もあります。
半導体向けレーザー加工機
の制御システム
半導体の製造工程において、様々なレーザー加工機が使用されます。ソフィックスでは、レーザー加工機の制御ソフトウェアを開発しています。
レーザー加工機を構成する、レーザー発振機・ガルバノコントローラー・パワーメーター・チラー、その他周辺機器を制御することにより、各種機器のパラメーター制御・レーザーパワー補正・加工プログラムの実行・加工機の各種ステータスの監視、などの機能を開発します。
半導体部品検査システム
半導体部品を実装する前の工程で、リードやボール位置を検査できるような画像処理システムの開発も行います。
産業用カメラの制御や、表面実装装置を制御することで、部品の検査システム構築を実現します。